采購勻膠機的注意要點

勻膠機主要應用於(yu) 微機電係統的微加工、生物、材料、半導體(ti) 、製版、新能源、薄膜、光學及表麵塗覆等領域或樣件較小無法使用提拉塗膜或刮膜的方式進行塗膜的基片的塗膜。通常固定樣品的方式有兩(liang) 種：真空吸盤固定樣品、帶卡槽的樣品盤固定樣品。用真空吸盤固定樣品時需要有抽真空的裝置，真空吸附適用於(yu) 固定表麵光滑，平整度好，受真空吸力不變形的基片；帶卡槽的樣品盤可用於(yu) 質軟、形狀不規則的、尺寸較大的基片的固定。

　　類型

　　勻膠機又稱甩膠機、勻膠台、旋轉塗膠機、旋轉塗膜機、旋轉塗層機、旋轉塗布機、旋轉薄膜機、旋轉塗覆儀(yi) 、旋轉塗膜儀(yi) 、勻膜機。

　　勻膠機選購

　　從(cong) 其原理來說，可以看出選購勻膠機需要注意的幾個(ge) 細節

　　材質的選擇

　　對於(yu) 半導體(ti) 化工行業(ye) 的應用來說，材質的選擇尤為(wei) 關(guan) 鍵，大部分勻膠機采用的是不鏽鋼或者普通塑料材質，因為(wei) 這種材質的成本很低，不鏽鋼的對於(yu) 各類化工膠液的抗腐蝕性不太好，塑料對於(yu) 較高溫度和壓力下易產(chan) 生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話，將會(hui) 導致旋塗時，時高時低的顛簸狀態。自然無法得到好的旋塗效果。例如美國等型號都是采用天然聚丙烯（NPP）或者聚四氟乙烯（特氟隆，PTFE）材質。這兩(liang) 種材質具備綠色環保、節約資源、重量輕、強度大、抗衝(chong) 擊性能好、堅固耐用、花紋自然、光澤度好等優(you) 點。

　　旋轉速度

　　轉速的快慢和控製精度直接關(guan) 係到旋塗層的厚度控製和膜層均勻性。如果標示的轉速和電機的實際轉速誤差很大，對於(yu) 要求精密塗覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數據的。國產(chan) 的某些勻膠機隻能提供轉速範圍，並不能標定實時的轉速。進口的勻膠機雖然大部分能標定轉速，但是大部分轉速精度沒有標準認定。建議購買(mai) 轉速控製方麵有認定標準的，比如：美國NIST標準等。

　　真空吸附係統的構造

　　真空泵一定要無油的，壓力標定準確，生產(chan) 的無油真空泵實在不敢恭維。因為(wei) 任何的油汙都可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，會(hui) 導致基片吸附不住而產(chan) 生“飛片”的情況，還會(hui) 讓滴膠液不慎進入真空管道係統造成*堵塞。用過國產(chan) 勻膠機的客戶常常會(hui) 關(guan) 心怎麽(me) 清洗的問題，這一點許多國外的勻膠機做得不錯，他們(men) 有通過聯動機製，如果真空吸附力不夠的時候，不會(hui) 開始旋轉。