何為勻膠機及其的工作原理

勻膠機是在高速旋轉的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地塗覆在基片上的設備，膜的厚度取決(jue) 於(yu) 勻膠機的轉速和溶膠的黏度。

　　勻膠工作原理

　　一個(ge) 典型的勻膠過程包括滴膠,高速旋轉以及幹燥(溶劑揮發)幾個(ge) 步驟。滴膠這一步把光刻膠滴注到基片表麵上，高速旋轉把光刻膠鋪展到基片上形成簿層，幹燥這一步除去膠層中多餘(yu) 的溶劑。兩(liang) 種常用的滴膠方式是靜態滴膠和動態滴膠。靜態滴膠就是簡單地把光刻膠滴注到靜止的基片表麵的中心，滴膠量為(wei) 1-10ml不等。滴膠的多少應根據光刻膠的粘度和基片的大小來確定。粘度比較高或基片比較大，往往需要滴較多的膠，以保證在高速旋轉階段整個(ge) 基片上都塗到膠。動態滴膠方式是在基片低速（通常在500轉/分左右）旋轉的同時進行滴膠，“動態”的作用是讓光刻膠容易在基片上鋪展開，減少光刻膠的浪費，采用動態滴膠不需要很多光刻膠就能潤濕（鋪展覆蓋）整個(ge) 基片表麵。尤其是當光刻膠或基片本身潤濕性不好的情況下，動態滴膠尤其適用，不會(hui) 產(chan) 生針孔。滴膠之後，下一步是高速旋轉。使光刻膠層變薄達到終要求的膜厚，這個(ge) 階段的轉速一般在1500-6000轉/分，轉速的選定同樣要看光刻膠的性能（包括粘度，溶劑揮發速度，固體(ti) 含量以及表麵張力等）以及基片的大小。快速旋轉的時間可以從(cong) 10秒到幾分鍾。勻膠的轉速以及勻膠時間往往能決(jue) 定終膠膜的厚度。

　　一般來說，勻膠轉速快，時間長，膜厚就薄。影響勻膠過程的可變因素很多，這些因素在勻膠時往往相互抵銷並趨於(yu) 平衡。所以給予勻膠過程以足夠的時間，讓諸多影響因素達到平衡。勻膠工藝中重要的一個(ge) 因素就是可重複性。