高測速測量技術與儀器獲中國計量測試學會科技進步一等獎

日前，由清華大學完成的“高測速多軸高分辨力激光幹涉測量技術與(yu) 儀(yi) 器”項目獲得2018年度中國計量測試學會(hui) 科學技術進步一等獎。
　　計量是科學技術的基礎，是人類認識世界的工具，人類曆*的3次技術革命都和計量測試技術的突破息息相關(guan) ，計量測試科技成果對推動其他科學技術的進步與(yu) 發展具有重要的促進和作用。激光幹涉測量是實現超精密測控和微納尺度測量的有效手段，是保障可溯源納米測量的重要途徑，也是邁向計量強國、製造強國*的關(guan) 鍵計量測試技術。
　　項目團隊針對光刻機工件台超精密定位、基礎計量測量和儀(yi) 器應用中對激光幹涉儀(yi) 高動態、高分辨力、跨尺度和可溯源等測量需求，深入開展測量原理、方法和測量係統儀(yi) 器化中的共性科學技術問題研究，突破集成多軸幹涉、信號解調和折射率補償(chang) 等關(guan) 鍵技術，形成全套自主的高性能激光幹涉測量係統；提出係列可溯源至長度或頻率基準的激光幹涉測量方法，實現不確定度為(wei) 皮、納米量級的高精度測量；形成了係列知識產(chan) 品成果，研究成果支撐了我國自主研發光刻機的高精度定位，激光測振儀(yi) 的信號解調等應用，並入選國家“十二五”科技創新成就展。
　　項目實現了從(cong) 幹涉儀(yi) 組件、信號探測解調到多自由度探測方案設計的全鏈條自研開發的高測速、多軸大量程、高分辨力激光幹涉測量係統，提出了光頻可溯源係列化激光幹涉精密測長方法。截至目前，項目獲授權發明專(zhuan) li20餘(yu) 項，發表SCI收錄論文30餘(yu) 篇。
　　此外，項目團隊所研發的光刻機用雙頻激光幹涉儀(yi) 係統，成功應用到我國自研光刻機工件台樣機研發過程中，累計應用50餘(yu) 台套，很好的滿足了光刻機雙工件台樣機的精密測量需求，支撐了光刻機用雙頻激光幹涉儀(yi) 能力的形成，減輕了對國外幹涉儀(yi) 的依賴，為(wei) 我國裝備和儀(yi) 器研發提供了性能優(you) 良且不受製於(yu) 人的測量及溯源能力。
　　“中國計量測試學會(hui) 科學技術進步獎”是在國家科學技術獎勵辦公室登記備案的省部級科技進步獎。其中申報一等獎的項目要求整體(ti) 技術已正式應用三年以上並取得較大的經濟效益或社會(hui) 效益。目前產(chan) 品已成功應用到航空航天、汽車製造、機床檢測等多個(ge) 領域，成為(wei) 提升中國製造產(chan) 品質量的有力支撐工具。